Nanotecnologia Relacionada aos Processos de Deposição a Vácuo

  • Ana Lucia Ferreira de Barros CEFET/RJ
  • Lucas Lisbôa Vignoli CEFET/RJ
  • Igor Fita Pereira CEFET/RJ
Palavras-chave: Nanotecnologia, Processos de Deposição, Plasma.

Resumo

A deposição de filmes finos é uma ferramenta essencial  no domínio das nanotecnologias, por exemplo, em microeletrônica (portão  dielétricos, dispositivos de memória) ou energia (camada células solares, materiais termoelétricos). A deposição de filmes finos a vácuo é importante para a elaboração de produtos avançados, como monitores planos (OLED, LCD, plasma) e gravação de dados (HD, CD, DVD) [1,2]. Os alunos de engenharia do CEFET/RJ estão estudando  os métodos de deposição avançados com aplicações diretas nas áreas principais, como embalagem, proteção de ferramentas, vidro arquitetônico, energia solar (fotovoltaica, térmica), registro de dados em mídia, displays, microeletrônica, ótica e fotônica. Neste artigo, descreveremos cada uma das aplicações e os métodos que serão desenvolvidos no Laboratório de Deposição de Filmes Finos, além de descrever o aparato experimental utilizado em nossa Instituição.

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Biografia do Autor

Ana Lucia Ferreira de Barros, CEFET/RJ
Professora Adjunto II no CEFET/RJ, onde atua como docente e pesquisadora no Programa de Pós-Gradução Stricto Sensu em Engenharia Elétrica, é doutora em Física pela UFRJ.
Lucas Lisbôa Vignoli, CEFET/RJ
Aluno do 3º período de Engenharia Mecânica no CEFET/RJ, é bolsista de Iniciação Científica do CNPq.
Igor Fita Pereira, CEFET/RJ
Aluno do 3º período de Engenharia Mecânica no CEFET/RJ, é bolsista de Iniciação Científica do CNPq.
Publicado
2011-06-06
Seção
TECNOLOGIA & INOVAÇÃO