Nanotecnologia Relacionada aos Processos de Deposição a Vácuo

Ana Lucia Ferreira de Barros, Lucas Lisbôa Vignoli, Igor Fita Pereira

Resumo


A deposição de filmes finos é uma ferramenta essencial  no domínio das nanotecnologias, por exemplo, em microeletrônica (portão  dielétricos, dispositivos de memória) ou energia (camada células solares, materiais termoelétricos). A deposição de filmes finos a vácuo é importante para a elaboração de produtos avançados, como monitores planos (OLED, LCD, plasma) e gravação de dados (HD, CD, DVD) [1,2]. Os alunos de engenharia do CEFET/RJ estão estudando  os métodos de deposição avançados com aplicações diretas nas áreas principais, como embalagem, proteção de ferramentas, vidro arquitetônico, energia solar (fotovoltaica, térmica), registro de dados em mídia, displays, microeletrônica, ótica e fotônica. Neste artigo, descreveremos cada uma das aplicações e os métodos que serão desenvolvidos no Laboratório de Deposição de Filmes Finos, além de descrever o aparato experimental utilizado em nossa Instituição.


Palavras-chave


Nanotecnologia; Processos de Deposição; Plasma.

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Tecnologia & Cultura - ISSN 1414-8498